分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的，并闡述了分子泵的抽氣理論，使機(jī)械真空泵在抽氣機(jī)理上有了新的突破。分子泵的抽氣機(jī)理與容積式機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。

1簡(jiǎn)介

　　分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 (w · Gaede) 首先發(fā)明的，并闡述了分子泵的抽氣理論，使機(jī)械真空泵在抽氣機(jī)理上有了新的突破。分子泵的抽氣機(jī)理與容積式機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同，分子泵是在分子流區(qū)域內(nèi)靠高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面?zhèn)鬟f給氣體分子以動(dòng)量，使氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子，并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱為分子牽引現(xiàn)象。因此，人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱為牽引分子泵。

2結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

　　泵腔內(nèi)有可旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的四周帶有溝槽并用擋板隔開。每一個(gè)溝槽就相當(dāng)于一個(gè)單級(jí)分子泵，后一級(jí)的入口與前一級(jí)的出口相連。轉(zhuǎn)子與泵殼之間有 0.01mm 的間隙。氣體分子由入口進(jìn)入泵腔，被轉(zhuǎn)子攜帶到出口側(cè)，經(jīng)排氣管道由前級(jí)泵抽走。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是起動(dòng)時(shí)間短，在分子流態(tài)下有很高的壓縮比，能抽除各種氣體和蒸汽，特別適于抽除較重的氣體。但同于它自身的弱點(diǎn)：抽速小，密封間隙太小，工作可靠性較差，易出機(jī)械故障等，因此除特殊需要外，實(shí)際上很少應(yīng)用。曾一度被結(jié)構(gòu)和制造簡(jiǎn)單，抽速大的擴(kuò)散泵所代替?！　【褪窃谟蛿U(kuò)散泵開始得到廣泛應(yīng)用的時(shí)代，人們?cè)跔恳肿颖玫慕Y(jié)構(gòu)改進(jìn)方面仍然做了許多工作。如 Holweck 、 Siehbahn 、 Gondet 等先后對(duì) Gaede 型分子泵做了許多改進(jìn)，提出了很多不同結(jié)構(gòu)的新型牽引分子泵。但由于其結(jié)構(gòu)仍較復(fù)雜，抽速低，因此未能得到廣泛應(yīng)用。

3原理

　　分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵牽引分子泵氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的轉(zhuǎn)子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅(qū)送到泵的出口。