偏心輪在泵腔內(nèi)作回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)?使由滑環(huán)和滑桿分隔的兩個(gè)工作室容積作周期性變化以實(shí)現(xiàn)抽氣的真空泵。滑閥真空泵主要由泵體?滑環(huán)?偏心輪?轉(zhuǎn)動(dòng)軸和滑桿組成。圖滑閥真空泵的工作原理為滑閥真空泵的工作原理?圖中a?b?c滑閥真空泵的工作原理表示工作循環(huán)。轉(zhuǎn)動(dòng)軸的軸心與泵腔中心重合。在滑環(huán)上固定的長方形滑桿?能在裝于泵體中的滑動(dòng)導(dǎo)軌中上下滑動(dòng)和左右擺動(dòng)。泵腔被滑環(huán)和滑桿分隔成a?b兩個(gè)工作室。偏心輪逆時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)?b室容積逐漸減小?吸入的氣體逐漸被壓縮?壓力逐漸增高。同時(shí)?a室容積則逐漸擴(kuò)大?其中的氣體壓力不斷降低?被抽氣體便從滑桿的腔孔源源不斷地從吸氣口吸入a室。當(dāng)b室氣體壓力上升到高于大氣壓力時(shí)?便推開排氣閥排入大氣?而a室容積則達(dá)到最大值?這時(shí)吸氣終了?從而完成一個(gè)工作循環(huán)。偏心輪連續(xù)不斷地旋轉(zhuǎn)?氣體便不斷地被吸入?壓縮和排出而達(dá)到連續(xù)抽氣的目的。在泵腔內(nèi)各相對運(yùn)動(dòng)件表面間有油膜密封?所以這種真空泵是一種油封式機(jī)械真空泵?；y真空泵極限壓力?單級泵為0.4帕?雙級泵為0.065帕?工作壓力范圍為1×105~13帕?抽速范圍為8~600升/秒(1升=10-3米3)?；y真空泵可單獨(dú)作用或作為真空機(jī)組的前級泵。如安裝氣鎮(zhèn)閥?可抽含有少量可凝性蒸汽的氣體。滑閥真空泵在真空冶煉?真空干燥?真空浸漬和真空蒸餾等方面都得到廣泛應(yīng)用。