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PECVD SIHI真空泵的保養(yǎng) 怎么做???

PECVD SIHI真空泵的保養(yǎng) 怎么做啊?
時間:2014-09-08
1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保真空泵工作正常。3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。4、一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查橡膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理,確保管路暢通。6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運行,一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次,因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。7、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵,試看真空泵是否靈活。8、向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機

1、經(jīng)常檢查油位位置,不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以真空泵運轉(zhuǎn)時,油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn)。

2、經(jīng)常檢查油質(zhì)情況,發(fā)現(xiàn)油變質(zhì)應(yīng)及時更換新油,確保真空泵工作正常。

3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮,由用戶酌情決定。一般新真空泵,抽除清潔干燥的氣體時,建議在工作100小時左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后,以后可適當(dāng)延長換油期限。

4、一般情況下,真空泵工作2000小時后應(yīng)進(jìn)行檢修,檢查橡膠密封件老化程度,檢查排氣閥片是否開裂,清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內(nèi)的零件,如轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗,并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應(yīng)輕拿輕放小心碰傷。

5、有條件的對管中同樣進(jìn)行清理,確保管路暢通。

6、重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運行,一般須空運轉(zhuǎn)2小時并換油二次,因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發(fā)物,待運轉(zhuǎn)正常后,再投入正常工作。

7、檢查真空泵管路及結(jié)合處有無松動現(xiàn)象。用手轉(zhuǎn)動真空泵,試看真空泵是否靈活。

8、向軸承體內(nèi)加入軸承潤滑機油,觀察油位應(yīng)在油標(biāo)的中心線處,潤滑油應(yīng)及時更換或補充。

9、擰下真空泵泵體的引水螺塞,灌注引水(或引漿)。

10、關(guān)好出水管路的閘閥和出口壓力表及進(jìn)口真空表。

11、點動電機,試看電機轉(zhuǎn)向是否正確。

12、開動電機,當(dāng)真空泵正常運轉(zhuǎn)后,打開出口壓力表和進(jìn)口真空泵,視其顯示出適當(dāng)壓力后,逐漸打開閘閥,同時檢查電機負(fù)荷情況。

13、盡量控制真空泵的流量和揚程在標(biāo)牌上注明的范圍內(nèi),以保證真空泵在最高效率點運轉(zhuǎn),才能獲得最大的節(jié)能效果。

14、真空泵在運行過程中,軸承溫度不能超過環(huán)境溫度35C,最高溫度不得超過80C 。

15、如發(fā)現(xiàn)真空泵有異常聲音應(yīng)立即停車檢查原因。

16、真空泵要停止使用時,先關(guān)閉閘閥、壓力表,然后停止電機。

17、真空泵在工作第一個月內(nèi),經(jīng)100小時更換潤滑油,以后每個500小時,換油一次。

18、經(jīng)常調(diào)整填料壓蓋,保證填料室內(nèi)的滴漏情況正常(以成滴漏出為宜)。

19、定期檢查軸套的磨損情況,磨損較大后應(yīng)及時更換。

20、真空泵在寒冬季節(jié)使用時,停車后,需將泵體下部放水螺塞擰開將介質(zhì)放凈。防止凍裂。

21、真空泵長期停用,需將泵全部拆開,擦干水分,將轉(zhuǎn)動部位及結(jié)合處涂以油脂裝好,妥善保管。

對于真空泵選擇也很重要

1、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或 者采取防振動措施。

2、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。

3、真空泵在其工作壓強下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。

6、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。

7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的極限真空度至少要2mmHg,最好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個到一個數(shù)量級。

9、真空泵的價格、運轉(zhuǎn)及維修費用。

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