摘要：真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。

真空泵選型注意事項(xiàng)及水環(huán)式真空泵的選擇真空泵一覽表

一、真空泵選型注意事項(xiàng)：

1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。

3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

【更多關(guān)于真空泵的型號(hào)，參數(shù)，及其他選型報(bào)價(jià)方案等可以點(diǎn)擊上圖了解】

4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。

5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí)，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。

6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。

7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。

8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。

二、水環(huán)式真空泵的選擇

1、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。泵工作時(shí)，需要注意以下兩個(gè)方面：盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音。對(duì)于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。

如果真空度或排氣壓力較高，單級(jí)泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級(jí)泵。

如果真空度要求在-710mmHg以上，可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。F2、據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵)

初步選定了泵的類型之后，對(duì)于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。

關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照有關(guān)公司網(wǎng)頁真空計(jì)算公式。面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī)，我們特將其各自特點(diǎn)收集如下，以利于用戶選型：

三、真空泵一覽表

名稱型號(hào)抽氣速率L/s極限真空Pa配用功率kW旋片真空泵

2X(Z)型旋片式真空泵0.5～70610-20.55～5.5

XD、X單級(jí)旋片真空泵2.8～150210-20.37～15X型單級(jí)旋片真空泵30～15064～11往復(fù)真空泵W型往復(fù)真空泵32～30020004～3055～60020005.5～45

羅茨真空泵ZJ型羅茨真空泵30～5000510-20.75～5570～3000510-21.1～30

滑閥真空泵H型滑閥真空泵8～60011.1～5570～60017.5～552H型滑閥真空泵8～1500.14～15液環(huán)真空泵

2BE1、CBF水環(huán)式真空泵2～450m3/min3.31037.5～7102

BE1型雙級(jí)水環(huán)式真空泵5～320m3/min3.310311～3802

BV型水環(huán)式真空泵0.3～8.3m3/min3.31030.81～152

SK型雙級(jí)水環(huán)式真空泵0.4～30m3/min3.51032.2～55

S、SK型水環(huán)式真空泵0.67～25m3/min(3.5～4)1031.5～55

SK型水環(huán)式真空泵0.4～120m3/min(8～15)1031.1～185

SZ、SK型水環(huán)式真空泵1.5～27m3/min(5～14)1035.5～75

SK、2YK型水環(huán)式真空泵5～280m3/min(5～14)10422～380

FSK型水環(huán)式真空泵3～9m3/min(5～14)1037.5～

22YL型液環(huán)式真空泵5～25m3/min910430～132

真空泵機(jī)組JZJ型羅茨、旋片真空泵機(jī)組30～1200(1～5)10-21.3～26

JZJ1型羅茨、旋片真空泵機(jī)組70～1200(5～10)10-24.3～22.5J

ZJS型羅茨、水環(huán)真空泵機(jī)組70～60025～6507～39.5

JZJ1S型羅茨、水環(huán)真空泵機(jī)組150～60025～6509.7～24.7

JZJH型羅茨、滑閥真空泵機(jī)組300～120010-111.5～262

BW4型水環(huán)真空泵成套機(jī)組10～95m3/min10345～185