當(dāng)前渦輪分子泵的結(jié)構(gòu)有立式v與臥式渦輪分子泵之分。入口的氣流與旋轉(zhuǎn)軸平行的渦輪分子泵屬于立式的;進(jìn)入氣流垂直于旋轉(zhuǎn)軸中心的渦輪分子泵屬于臥式的。這種臥式泵,進(jìn)入氣體對稱分為兩半,直角轉(zhuǎn)向兩側(cè)分別進(jìn)入兩側(cè)相同的轉(zhuǎn)子定子葉柵中,由兩側(cè)氣流匯集于共同的出口。這兩種形式的泵又稱單端泵和雙端泵。這兩種泵市場上均有出售。臥式渦輪分子泵臥式渦輪分子泵特點(diǎn)是其轉(zhuǎn)子主軸水平布置。這種結(jié)構(gòu)的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側(cè)的葉列組合抽走。軸承分別裝在各抽氣單元的排氣側(cè),見圖1。1.動(dòng)片2.定片3.進(jìn)氣口4.軸5.軸承6.排氣口圖1:臥式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖臥式渦輪分子泵的特點(diǎn)是抽氣時(shí)轉(zhuǎn)子受力均勻,軸承定位、受力狀態(tài)好,使用壽命長,且軸承更換過程中,轉(zhuǎn)子位置不動(dòng),維修方便。立式渦輪分子泵立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)如圖2所示。圖2:立式渦輪分子泵結(jié)構(gòu)示意圖立式渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子軸垂直安裝,只有一組抽氣組合葉列。轉(zhuǎn)子葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí),被抽氣體沿著轉(zhuǎn)子組和定子組自高真空端向低真空端壓縮,被驅(qū)向前級(jí),由前級(jí)泵抽走。泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機(jī)等組成。現(xiàn)代渦輪分子泵轉(zhuǎn)子和定子之間的間隙較大,通常在lmm左右,因此泵工作時(shí)很安全。立式泵的裝配工藝要比臥式泵簡單,所以立式泵發(fā)展很快。軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件,才能滿足泵的工作要求:a.高速下具備良好的潤滑性能;b.飽和蒸氣壓低于前級(jí)泵工作液的飽和蒸氣壓;c.粘度適當(dāng),使之兼有軸承冷卻液的作用。