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真空泵分類，真空泵各自原理，真空泵結構，真空泵的應用??

時間：2014-09-08

1、分類a類，機械泵：油封機械泵（單級），油封機械泵（雙級），分子泵，羅茨泵；b類，蒸汽噴射泵：水銀擴散泵，油擴散泵，油噴射泵；c類，干式泵：濺射離子泵，鈦升華泵，吸附泵，冷凝泵，冷凝吸附泵。

2、各自結構，a機械泵就是通過機械原理抽氣而抽真空的，一般都有定子，轉子，和旋片，閥門等組成。機械泵一般抽真空度較低，油封機械泵抽到10（-2）次方就不能往下抽了，但羅茨泵和分子泵由于其巧妙的設計，可以抽到10（-4）甚至更高。b蒸汽噴射泵就是利用加熱氣化使高速噴出的蒸汽的動量攜帶氣體分子出來，從而抽真空的，蒸汽噴射泵因為是由蒸汽攜帶氣體出來的，一般都會有蒸汽污染。注：蒸汽攜帶氣體出來之后蒸汽會冷凝回流，再蒸發(fā)，再攜帶，依次循環(huán)。蒸汽噴射泵抽的真空度比一般機械泵高，但是也高不了多少，主要是會有污染。c干式泵，每種的原理結構都大不同，優(yōu)點就是無污染，抽的真空度高，能抽高真空，最高可以達到10（-12）的極限真空，缺點是技術要求太高了，而且抽到10（-12）一般來說連續(xù)抽個幾個月才能達到，時間好長哦。我用冷凝泵抽到10（-4）都得四五個小時哦，而且干式泵無法從大氣壓直接抽到高真空，得用前兩種泵抽到一定真空度后，干式泵才能開始工作，繼續(xù)抽到更高真空。

3、應用領域，太多了，半導體，化工，鍍膜，最簡單的做個燈泡也要用真空泵啊，抽光了空氣才能灌氮氣和其他氣體啊，總之要用到高純和低壓的地方大都要用到真空泵。

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