振動(dòng)是監(jiān)測(cè)干式螺桿真空泵運(yùn)行是否止常的重要指標(biāo)之一，通常為了達(dá)到lPa左右的極限真空，兩轉(zhuǎn)子以及轉(zhuǎn)子與泵體的問隙值存0.1 -0.4mm，轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速在3000 r/rmin左右：中國(guó)臺(tái)灣的立式螺旋泵樣機(jī)轉(zhuǎn)速高達(dá)6000r/min以上。由于干式螺桿真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、液晶生產(chǎn)、蝕刻和鍍膜等行業(yè)中，所抽氣體大都含有反應(yīng)生成物的顆粒，這些反應(yīng)生成物會(huì)積聚于轉(zhuǎn)子表面，易造成轉(zhuǎn)子卡死、劃膛等故障，嚴(yán)重影響設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。利用振動(dòng)監(jiān)測(cè)所得到的各種圖譜掌握真空泵運(yùn)行狀態(tài)，以期達(dá)到在泵運(yùn)行中或基本不拆卸的情況下判定故障的部位、產(chǎn)生原因和發(fā)展程度，以便及時(shí)排除故障，保證直空泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

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　　(l)常見故障的振動(dòng)監(jiān)測(cè)和診斷方法

　?、僬駝?dòng)測(cè)試點(diǎn)、測(cè)量信號(hào)類型的選擇，干式螺桿泵中易發(fā)生故障的部位為轉(zhuǎn)子與腔體。除此之外，滾動(dòng)軸承和齒輪的磨損也易引發(fā)故障，要在這些部件上布置測(cè)試點(diǎn)。對(duì)于軸承測(cè)點(diǎn)，應(yīng)選在與軸承座連接剛度較高的地方，要以盡可能多地獲得軸承外圈本身的振動(dòng)信號(hào)為原則。在抽氣泵腔上布置轉(zhuǎn)子和腔體的振動(dòng)測(cè)點(diǎn)，應(yīng)盡量靠近吸氣口或排氣口.以盡可能反映出氣體脈動(dòng)誘發(fā)的振動(dòng)。對(duì)于旋轉(zhuǎn)機(jī)械而言，以軸向和徑向的振動(dòng)為主·在條件允許的情況下.應(yīng)在此兩方向上都布置測(cè)點(diǎn)。測(cè)量信號(hào)類型包括他移、速度和速度。螺桿泵中的轉(zhuǎn)子不平衡頻率、不對(duì)中頻率、軸彎曲頻率、軸承中滾珠通過頻率、齒輪嚙合頻率等成分分布在lOHz-lOkHz范圍內(nèi)，要全面反映出這些特祉頻率，就要選擇速度參照。

　?、谡駝?dòng)故障的診斷方法在進(jìn)行故障信號(hào)測(cè)量時(shí)，直接得到的是時(shí)域信號(hào)，然后通過傅里葉變換得到頻率圖。干式蜾桿真空泵的時(shí)域波形呈現(xiàn)出明最的周期特性，反映出振動(dòng)量的大小和相位，用峰值來表示.而頻譜圖采用有效值來度量。對(duì)于某些故障·其特征頻率相同，例如轉(zhuǎn)子弓形彎曲、缺相和不平衡都是以一倍頻(旋轉(zhuǎn)頻率)為主，不易區(qū)分，這時(shí)就需要從相位上進(jìn)行區(qū)分。故障診斷量重要的就足頻譜分析法，頻譜圖能反映出各種故障所對(duì)應(yīng)的特征頻率和振動(dòng)量的大小，據(jù)此可判斷故障發(fā)生的位置、發(fā)展程度和趨勢(shì)等，為診斷工作提供依據(jù)。圖列出常見故障的特征。