低溫泵怎么應(yīng)用在光學(xué)鍍膜過(guò)程能夠降低成本，提高循環(huán)周期和生產(chǎn)力，同時(shí)極大地增加膜層粘合性和硬度以及可連續(xù)重復(fù)運(yùn)行性。

　　加工和制造光學(xué)膜的工藝越來(lái)越復(fù)雜。為了同時(shí)滿足鍍膜的產(chǎn)量和質(zhì)量，需要解決大量的棘手問(wèn)題。從襯底的清洗和準(zhǔn)備到最終檢驗(yàn)和測(cè)試，而鍍膜工序是真正的麻煩工序。

　　擴(kuò)散泵已經(jīng)應(yīng)用在光學(xué)鍍膜工業(yè)上大約30年了，很多人用習(xí)慣了，隨著對(duì)鍍膜質(zhì)量要求的提高，需要更好的真空獲得設(shè)備。好在我們有了低溫泵，它能提供潔凈、無(wú)油的真空;不僅如此，甚至在人員操作失誤、斷電和設(shè)備故障時(shí)，腔體和加工件都不會(huì)被污染。這與擴(kuò)散泵系統(tǒng)故障后的情況形成鮮明的對(duì)比。擴(kuò)散泵系統(tǒng)若出現(xiàn)上述故障，需要進(jìn)行拆卸、清洗、重新組裝、檢漏和過(guò)程重新檢查等處理過(guò)程。突然的真空度故障后，常規(guī)處理需要花費(fèi)幾天到一個(gè)禮拜的時(shí)間。

　　低溫泵自身不放氣：低溫泵沒(méi)有熱的元件來(lái)造成放氣，也不會(huì)使水蒸氣熱分解成氫氣和氧氣或產(chǎn)生甲烷。

　　而且，因?yàn)闆](méi)有流體、移動(dòng)部件或密封暴露在真空中，所以腐蝕、污染等故障都沒(méi)有。

　　低溫泵抽速大，能縮短鍍膜周期，提高產(chǎn)量。在低溫泵中唯一暴露在真空系統(tǒng)中的表面是低溫冷凝板，它可以保持足夠低的溫度來(lái)冷凝并且容許鍍膜腔內(nèi)所有的氣體進(jìn)入低溫泵。低溫泵可提供對(duì)水的大抽速而不需任何液氮。低溫泵對(duì)其他氣體的抽速比相同尺寸的液氮冷阱/擴(kuò)散泵組合大約高50%~100%。這些在抽速上的提高意味著在很短的時(shí)間就可達(dá)到所需的真空度，而且在處理過(guò)程中相同的條件下可使像氫氣和氧氣這樣的反應(yīng)氣體的分壓減少50%以上。

　　低溫泵提供的高質(zhì)量真空增加鍍膜產(chǎn)品的生產(chǎn)量和質(zhì)量。以前，當(dāng)公司的鍍膜使用油擴(kuò)散泵時(shí)，因粘著性和硬度測(cè)試達(dá)不到要求使5lOmm和32英寸(810mm)腔體的二次鍍膜率分別為1/8和1/10，而在安裝運(yùn)用低溫泵后的二次鍍膜率為0。運(yùn)用低溫泵后生產(chǎn)的膜層密集、堅(jiān)固，并且有很好的抗磨損性。

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　　即使使用最好的最貴的合成擴(kuò)散泵油，采用高的真空腔體切換壓力，也需要防止低真空泵返油：油遷移到感光底層或內(nèi)部腔體壁和表面上并在那里聚合。因此，隨著一次次鍍膜的進(jìn)行，污染物通過(guò)除氣作用重新釋放到腔體。腔體變得越來(lái)越臟，造成粘著性和針孔問(wèn)題使得產(chǎn)量減小。最靠近污染的腔體壁的光學(xué)鍍膜遭受的影響最大。換成低溫泵后消除了返油造成的污染。

　　低溫泵不會(huì)因?yàn)槎虝弘妷旱慕档突驍嚯姸沟冒嘿F的鍍膜層損壞。低溫泵可以依靠它的低溫環(huán)境來(lái)維持它的真空度并且能在斷電后繼續(xù)抽氣10至20分鐘。這對(duì)于斷路器復(fù)位已經(jīng)足夠長(zhǎng)的時(shí)間了，并且可以挽救生產(chǎn)中潛在的危險(xiǎn)。

　　正常使用情況下，低溫泵和壓縮機(jī)應(yīng)該長(zhǎng)期運(yùn)行2萬(wàn)至3萬(wàn)小時(shí)而無(wú)需檢查。有些用戶的泵在沒(méi)有進(jìn)行任何檢查的情況下已經(jīng)運(yùn)行了6萬(wàn)小時(shí)或更長(zhǎng)的時(shí)間。

　　定期的維護(hù)主要在于每運(yùn)行l(wèi)萬(wàn)小時(shí)后需要更換壓縮機(jī)單元內(nèi)不太昂貴的吸附器。另外，由于低溫泵是一個(gè)誘捕吸附泵，且是用腔體來(lái)凝結(jié)和儲(chǔ)存氣體的，所以定期進(jìn)行再生是必要的，這是一個(gè)很簡(jiǎn)單的處理方式，能被大家普遍接受。

　　低溫真空泵再生

　　低溫真空泵再生典型過(guò)程：首先讓低溫冷凝板回溫到環(huán)境溫度，接著抽真空到5×10-2—1×10-1。托，最后重新啟動(dòng)低溫泵冷卻冷陣到合適的工作溫度。

　　低溫泵的再生不需要很頻繁。一個(gè)有48英寸的真空腔體的鍍膜設(shè)備，鍍膜時(shí)兩班輪換運(yùn)轉(zhuǎn)，且每班鍍膜12次，僅需要大約每?jī)赏蛟?20次鍍膜之后進(jìn)行一次再生。當(dāng)然在極端條件下很頻繁的再生也許是必要的。例如，在水蒸氣負(fù)載高的情況下在塑料襯底上鍍四層膜，30分鐘的循環(huán)一次，平均每天鍍32次，產(chǎn)量超過(guò)3.8萬(wàn)件。

　　最好是有計(jì)劃的進(jìn)行再生，可以在用戶方便的情況下定期進(jìn)行，典型的就是在周末不需操作人員看護(hù)下進(jìn)行。甚至用微處理器控制的自動(dòng)再生系統(tǒng)在車間關(guān)門后沒(méi)有生產(chǎn)運(yùn)行干擾情況下完成再生。從泵被隔開、關(guān)機(jī)、純化和加熱，到粗抽和重新啟動(dòng)運(yùn)行的整個(gè)再生循環(huán)是完全無(wú)需手動(dòng)的。

　　許多低溫泵用戶把再生安排在周一早上較早的進(jìn)行，以便于使系統(tǒng)準(zhǔn)備好為第一班所用。在某些情況下，兩臺(tái)低溫泵可以同時(shí)進(jìn)行再生。

　　使用低溫泵后，薄膜質(zhì)量更好收益更高，并且生產(chǎn)量更高。這已經(jīng)吸引了大部分光學(xué)鍍膜廠家和激光產(chǎn)品生產(chǎn)者幾乎100%地?fù)Q成使用低溫泵?？梢灶A(yù)計(jì)，由于競(jìng)爭(zhēng)壓力和對(duì)高質(zhì)量光學(xué)鍍膜的需求，促使光學(xué)鍍膜公司全部轉(zhuǎn)為使用低溫泵。